国家/地区 日本(28) 世界知识产权组织(9) 台湾(5) 美国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2)
IPC部 C(28) H(16) B(12)
G(2)
IPC大类 C01(28) H01(16) B82(8)
C23(7) B01(3) B32(3)
C30(3)
IPC小类 C01B(28) H01L(11) B82Y(7)
C23C(7) H01B(5) B01J(3)
B32B(3) C30B(3) H01M(2)
IPC C01B031/02(28)
发明人 HASEGAWA M(8) YAMADA T(7) ISHIHARA M(6)
KAWABATA A(4) HASEGAWA MASATAKA(3) SATO S(3)
SHIMADA N(3) TSUGAWA K(3) AKITA T(2)
HAYASHI K(2) HO K J(2) IIJIMA S(2)
IIJIMA SUMIO(2) ISHIHARA MASATOU(2) JAEHO K(2)
公开年 2014(10) 2013(7) 2012(3) 2015(3) 2010(2)
申请年 2012(9)  2013(8)  2011(4)  2014(2) 
专利权人 DOKURITSU GYOSEI HOJIN SANGYO GIJUTSU SO(28)